高低溫試驗(yàn)

知識(shí)分享

導(dǎo)語：在半導(dǎo)體行業(yè)中，芯片的可靠性是衡量其性能和壽命的關(guān)鍵指標(biāo)?？煽啃詼y(cè)試是確保芯片在預(yù)定使用周期內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行的重要手段。本文將詳細(xì)介紹芯片可靠性測(cè)試的各個(gè)方面，包括加速測(cè)試、環(huán)境應(yīng)力測(cè)試、靜電放電測(cè)試等，以及這些測(cè)試如何幫助提高芯片的質(zhì)量和可靠性。

可靠性測(cè)試

加速測(cè)試是一種通過增加應(yīng)力條件來加速潛在故障發(fā)生的方法，以便在較短時(shí)間內(nèi)評(píng)估芯片的可靠性。這種方法通常涉及溫度、濕度、電壓和電流等加速因子。加速測(cè)試的目的是模擬長時(shí)間使用條件下的芯片性能，同時(shí)確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

溫度循環(huán)測(cè)試根據(jù)JED22-A104標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，通過將芯片暴露于極端高溫和低溫之間，模擬環(huán)境溫度變化對(duì)芯片的影響。這種測(cè)試有助于評(píng)估芯片在溫度波動(dòng)下的性能和耐久性。

HTOL測(cè)試依據(jù)JESD22-A108標(biāo)準(zhǔn)，用于評(píng)估芯片在持續(xù)高溫工作條件下的可靠性。這種測(cè)試通常持續(xù)較長時(shí)間，以模擬芯片在實(shí)際使用中的長期穩(wěn)定性。

BHAST測(cè)試根據(jù)JESD22-A110標(biāo)準(zhǔn)，將芯片置于高溫高濕環(huán)境中，并施加偏壓，以加速芯片的腐蝕過程。與THB測(cè)試相比，BHAST條件更為嚴(yán)苛，測(cè)試速度更快。

熱壓器和無偏壓HAST測(cè)試用于評(píng)估芯片在高溫高濕條件下的可靠性，但與BHAST不同，這些測(cè)試不會(huì)對(duì)芯片施加偏壓，以模擬更為自然的環(huán)境條件。

HTS測(cè)試，也稱為“烘烤”或HTSL，用于評(píng)估芯片在高溫下長期存儲(chǔ)的可靠性。與HTOL不同，HTS測(cè)試期間芯片不處于運(yùn)行狀態(tài)，更側(cè)重于評(píng)估存儲(chǔ)條件下的穩(wěn)定性。

靜電放電是芯片設(shè)計(jì)和制造過程中需要特別關(guān)注的一個(gè)問題。ESD可以對(duì)芯片造成嚴(yán)重?fù)p害，包括破壞柵極氧化層、金屬層和結(jié)。JEDEC標(biāo)準(zhǔn)提供了兩種測(cè)試方法：

1. 人體放電模型（HBM）：模擬人體攜帶的靜電荷通過芯片釋放到地面的過程，評(píng)估芯片對(duì)ESD的敏感性。

2. 帶電器件模型（CDM）：根據(jù)JEDEC JESD22-C101規(guī)范，模擬生產(chǎn)過程中的充電和放電事件，評(píng)估芯片在生產(chǎn)環(huán)境中對(duì)ESD的抵抗能力。

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芯片可靠性測(cè)試設(shè)備