TH試驗(yàn)與HAST試驗(yàn)

本文檔詳細(xì)探討了半導(dǎo)體行業(yè)中高溫高濕試驗(yàn)（TH）和非飽和蒸汽試驗(yàn)（HAST）兩種加速老化測試方法的定義、原理、應(yīng)用場景、等效關(guān)系及選型建議。文章的**思想在于通過對比這兩種測試方法的特點(diǎn)，幫助工程師和企業(yè)選擇合適的可靠性測試手段以評估產(chǎn)品在濕熱環(huán)境下的長期表現(xiàn)或快速發(fā)現(xiàn)問題。文檔從理論基礎(chǔ)出發(fā)，結(jié)合具體案例分析，闡述了兩種測試方法在加速因子、失效模式、成本等方面的差異，并提供了選型建議，旨在為實(shí)際應(yīng)用提供指導(dǎo)。

2025-05-02 14:44:44上海柏毅試驗(yàn)設(shè)備有限公司

在半導(dǎo)體行業(yè)中，高溫高濕試驗(yàn)（TH）和非飽和蒸汽試驗(yàn)（HAST）是兩種常用的加速老化測試方法，它們通過模擬濕熱環(huán)境來評估產(chǎn)品的可靠性。然而，這兩種測試方法在測試時間與實(shí)際使用壽命之間的等效關(guān)系存在明顯差異。以下將從定義、原理、應(yīng)用場景、等效關(guān)系和選型建議等方面，結(jié)合案例分析，解答這一問題。

定義

高溫高濕試驗(yàn)（TH）

高溫高濕試驗(yàn)（TH）是指在一定的溫度和濕度條件下，對產(chǎn)品進(jìn)行加速老化的測試方法。其目的是模擬自然環(huán)境中的濕熱環(huán)境，評估產(chǎn)品在長期使用中的可靠性表現(xiàn)。典型的測試條件為85℃/85%RH，因此也被稱為“雙85測試”。

非飽和蒸汽試驗(yàn)（HAST）

非飽和蒸汽試驗(yàn)（HAST）是一種高加速的濕熱測試方法，通過高溫、高濕、高壓的環(huán)境，使水蒸氣壓力高于產(chǎn)品內(nèi)部的壓力，從而加速濕氣滲入產(chǎn)品內(nèi)部，引發(fā)失效。HAST的測試條件通常更加嚴(yán)苛，例如溫度為110℃~130℃，濕度為85%RH，并伴隨一定的壓力。

二、原理

1.TH試驗(yàn)的原理

TH試驗(yàn)通過模擬自然環(huán)境中的濕熱條件，使?jié)駳饩徛凉B入產(chǎn)品內(nèi)部，引發(fā)材料腐蝕、絕緣劣化等失效模式。其加**果較為溫和，適用于評估產(chǎn)品的長期可靠性。

2.HAST試驗(yàn)的原理

HAST試驗(yàn)利用高溫、高濕、高壓的環(huán)境，使水蒸氣壓力高于產(chǎn)品內(nèi)部壓力，從而加速濕氣滲入產(chǎn)品內(nèi)部。由于壓力的引入，HAST的加**果更強(qiáng)，能夠快速發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品的潛在缺陷。

三、應(yīng)用場景

1.TH試驗(yàn)的應(yīng)用場景

TH試驗(yàn)適用于評估產(chǎn)品在自然環(huán)境中的長期可靠性表現(xiàn)，例如電子元件、集成電路等在濕熱環(huán)境下的耐久性。其測試周期較長，但更貼近實(shí)際使用環(huán)境。

2.HAST試驗(yàn)的應(yīng)用場景

HAST試驗(yàn)適用于快速發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品的早期失效模式，特別是對非氣密性封裝器件（如塑料封裝的IC）進(jìn)行耐濕性評估。其測試周期較短，適用于加速老化測試。

四、等效關(guān)系

在實(shí)際應(yīng)用中，TH試驗(yàn)和HAST試驗(yàn)的測試時間與實(shí)際使用壽命之間的等效關(guān)系可以通過加速因子（AccelerationFactor,AF）來表示。加速因子是指測試條件下的失效時間與實(shí)際使用條件下的失效時間之比。

加速因子的計(jì)算

加速因子的計(jì)算通?；诎惸釣跛狗匠蹋ˋrrheniusEquation）和濕度對失效的影響。對于TH試驗(yàn)和HAST試驗(yàn)，加速因子的計(jì)算公式如下：

E_a是**能（單位：eV），與材料相關(guān)；
k 是玻爾茲曼常數(shù)（8.617×10^??eV/K）；
T_use和T_stress分別是實(shí)際使用溫度和測試溫度（單位：K）；
RH_stress和RH_use分別是測試濕度和實(shí)際使用濕度；
n是濕度相關(guān)的經(jīng)驗(yàn)常數(shù)。

等效關(guān)系的差異

TH試驗(yàn)：加速因子通常在10~100之間，具體取決于溫度和濕度條件。

HAST試驗(yàn)：由于高壓的引入，加速因子通常在幾十到幾百倍之間，遠(yuǎn)高于TH試驗(yàn)。

項(xiàng)目	HAST 96小時	雙85測試 1000小時
測試條件	130℃、85%RH、2.3atm高壓	85℃、85%RH、常壓
加速機(jī)制	高壓蒸汽加速水汽滲透 + 高溫化學(xué)反應(yīng)	常壓下濕熱緩慢滲透與氧化
等效時間	約等效常規(guī)濕熱環(huán)境 10~20年	約等效自然老化 5~10年
測試周期	4天（快速驗(yàn)證）	42天（長期模擬）
主要失效模式	電化學(xué)腐蝕、界面分層、離子遷移	吸濕膨脹、絕緣退化、材料氧化
成本	高（高壓設(shè)備、能耗）	低（普通恒溫恒濕箱）
適用對象	非密封電子器件（芯片、LED、車規(guī)模塊）	通用材料（塑料、光伏、電池）

案例分析

案例1：半導(dǎo)體封裝器件的可靠性評估

某半導(dǎo)體公司對一款塑料封裝的IC進(jìn)行可靠性測試。

試驗(yàn)方法	溫度	濕度	壓力	試驗(yàn)時間	結(jié)果
TH試驗(yàn)	85℃	85%RH	N/v	1000H	未發(fā)現(xiàn)明顯失效
HAST試驗(yàn)	130℃	85%RH	0.196Mpa	48H	封裝內(nèi)部出現(xiàn)濕氣滲透導(dǎo)致的短路失效

通過計(jì)算加速因子，HAST試驗(yàn)的加速能力約為TH試驗(yàn)的50倍。因此，HAST試驗(yàn)?zāi)軌蛟诟痰臅r間內(nèi)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品的潛在缺陷，而TH試驗(yàn)則更適用于評估產(chǎn)品的長期可靠性。

選型建議

項(xiàng)目	選型建議
產(chǎn)品特性	氣密性封裝器件→TH試驗(yàn)以評估其在自然環(huán)境中的長期可靠性。非氣密性封裝器件→優(yōu)先選擇HAST試驗(yàn)，以快速發(fā)現(xiàn)早期失效模式。
實(shí)際需求	快速評估產(chǎn)品的可靠性→HAST試驗(yàn) 模擬實(shí)際使用環(huán)境→TH試驗(yàn)
關(guān)注失效類型	電化學(xué)腐蝕/界面問題→HAST試驗(yàn) 濕膨脹/長期老化→TH試驗(yàn)
預(yù)算是否充足	是→HAST（高壓設(shè)備投入）否→TH試驗(yàn)（低成本長期測試）

建立合理的加速模型在選擇測試方法時，需要根據(jù)產(chǎn)品的材料、結(jié)構(gòu)、工藝等因素，建立合理的加速模型，以確保測試結(jié)果能夠準(zhǔn)確反映實(shí)際使用情況。咨詢上海柏毅可以根據(jù)產(chǎn)品的具體情況和測試需求，提供更合理的測試方案。

總結(jié)

高溫高濕試驗(yàn)（TH）和非飽和蒸汽試驗(yàn)（HAST）都是重要的可靠性測試方法，它們各有特點(diǎn)，適用于不同的應(yīng)用場景。在實(shí)際工作中，我們需要根據(jù)產(chǎn)品的具體情況和可靠性要求，選擇合適的測試方法，并建立合理的加速模型，才能準(zhǔn)確地評估產(chǎn)品的可靠性水平。希望本文分享對大家有所幫助！如果您有任何問題或建議，歡迎在后臺留言，我會盡力解答。感謝大家的關(guān)注和支持！

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